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气体流量控制器的产品规格介绍
发布时间：  2009-9-24 9:24:40

流量开关——气体流量控制器的产品规格介绍

(1) 标准规格
  精度： ±0.5%FS（0%≦Q≦50%FS）
±1.0%FS（50%
  重复性： ±0.25%FS（0%≦Q≦50%FS）
±0.5%FS（50%
(2) 高精度规格(可选)
  精度： ±0.2%FS（0%≦Q<20%FS）
±1.0%SP（20%≦Q≦100%FS）
  重复性： ±0.1%FS（0%≦Q<20%FS）
±0.5%SP（20%≦Q≦100%FS）

氢气对应型号，标准全量程流量为500mL／min至200L／min的机种。
精度： ±0.5%FS（0%≦Q≦40%FS）
±1.0%FS（40%±2.0%FS（80%
  重复性： ±0.25%FS（0%≦Q≦40%FS）
±0.5%FS（40%
 
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