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气体流量开关和流量计工作原理
发布时间:  2015/12/22 11:43:22

气体流量开关的工作原理

气体流量开关和流量计工作原理

气体流量开关选用毛细管传热温差量热法原理丈量气体的质量流量(无需温度和压力抵偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入扩大器扩大,扩大后的流量丈量电压与设定电压进行对比,再将差值信号扩大后去操控调节阀,经过闭环操控来操控经过的流量,并使之与设定的流量持平。分流器决定主通道的流量。

控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检查输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检查规模为2~100%满刻度(量程比为50:1),流量分辨率为0.1%满刻度。

注意:气体流量开关的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不准确的,而且还可能出现流量增大、显示减小的现象,但这些不会损坏质量流量控制器。



 
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