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流量控制器原理
发布时间:  2016/6/24 10:11:31

关于MFC 和MFM
1. 质量流量计,质量流量控制器的概念
质量流量计,即Mass Flow Meter (MFM),是一种准确丈量气体流量的外表,其丈量值不因温度或压力的动摇而失准,不需求温度压力补偿。
质量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不光具有质量流量计的功用,更首要的是,它能自动操控气体流量,即用户可根据需求进行流量设定,MFC 自动地将流量恒定在设定值上,即便体系压力有动摇或环境温度有改变,也不会使其违背设定值。
2. 质量流量计,质量流量控制器的流量单位
气体质量流量单位通常以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 来表明,亦即每分钟规范毫升、每分钟规范升。这意味着,这种外表在不一样的运用条件下,指示的流量均是规范状态下的流量。这是这种外表和其它流量计的首要差异,也是SCCM、SLM 不一样于Ml/min、L/min 的地方。如果需求单位时间内流过的质量(如g/min),能够查阅规范状态下的气体密度,然后作乘法就能够了。
3.质量流量计/质量流量控制器的首要的长处
(1) 直接丈量气体的质量流量
热式质量流量计直接丈量流体质量流量,输出质量流量信号,无需别的设备,如温度测试仪和压力表,也无
需进行换算。(2) 无可移动有些
自身无类似转轴等的移动部件,增加了自身的可靠性,无需机械维护。
(3) 能够准确的丈量细小流量,选用分流设备,又能够丈量大流量,而且温度,压力规模很大。
(4) 丈量操控的自动化
质量流量计/质量流量控制器能够将流量丈量值以输出规范电信号输出。这么很容易完成对流量的数字显现,流量自动计量,数据自动记录,计算机办理等。对质量流量控制器而言,还能够完成流量的自动操控。
(5) 准确地定量操控流量
质量流量控制器能够准确地操控气体的给定量,这对许多技术进程的流量操控,是用于关于不一样气体的份额操控等。
(6) 准确度高,重复性好
咱们的商品准确度可达+-1%F.S(full scale)重复性为+-0.25%F.S(full scale)
(7) 体积小巧,装置便利,操作简略
(8) 技术先进,符合开展潮流
4.运用流量计/质量流量控制器应留意的疑问
(1)被测气体需求清洗。
留意不要形成气路阻塞,当质量流量控制器呈现某些毛病,或气源不洁导致传感器或分流器阻塞,或因操作失误,均有也许形成阻塞。关于的用户而言,应当特别处以留意,既要挑选适宜的类型,又要准确进行体系规划和准确运用。
(2)我公司商品以氮气(N2)来标定,如用别的气体时需求进行换算
5.区别运用质量流量计和质量流量控制器的场合
通常而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需求对流量进行操控时,用质量流量控制器。某些丈量场合,用二者皆可,但质量流量控制器更好用。
6.不一样气体的质量流量的换算
商品出厂通常是按氮气标定、按氮气流量断定流量规范。用同一规范的MFM/MFC 丈量不一样的气体,当流量检查值相一起, 实践的流量值也许不一样。咱们在说明书中给出了不一样气体相关于标定气体(氮气)的质量流量变换系数。如果您运用的商品是规范出厂商品(按氮气标定显现),而需求知道实践运用气体的质量流量时,先在商品说明书中找到实践运用气体的变换系数。在丈量进程中,在此系数乘以流量显现值便是实践运用气体的质量流量;反之,在断定所购商品的量程时, 以实践运用气体的最大希望流量值除以变换系数,便是相应的氮气标定商品的流量值。



 
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